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确定重庆坩埚方法的尺寸和形状

2020-10-27 14:39:56

确定重庆坩埚方法的尺寸和形状

重庆坩埚尺寸(或体积)的确定取决于晶体生长的直径和长度,还考虑了中对坩埚和晶体直径比的要求。一般耗尽与晶体直径之比为3:1。

原因是它与熔体直接接触,硅熔体与重庆坩埚的sio:反应生成sio后,扩散到熔体中,同时挥发到熔体表面,z后一部分到达固液界面附近,混入生长中的晶体中,从而提高单晶中的氧含量,涡流与晶体直径的比值越大,越有利于氧的挥发。

所以在拉制直径80rn,长度7的硅单晶时。000毫米,我们确定在中涡旋增强的直径为224毫米,高度为190毫米

根据应时的机械性能,氧化铝坩埚制造商的川是8004-8500(碳化钨千克/平方厘米)、710-1040(200千克/平方厘米)、700-1100(200千克/平方厘米)、304-600 (20千克/平方厘米)和抗扭强度。

同时,为了保持单晶生长到底部时耗尽与晶体直径的原始比值(3:I),并尽量减少坩埚中,的残留,从而提高单晶的产量和回收率,决定采用平底柑崩。

它的外形尺寸和形状如如图I所示,如果使用球底琳A,在保证穷竭与晶体直径之比(3,333,601)的情况下,穷竭的边角料会超过平底林,显然不利于提高单晶的产量和回收率。


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