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重庆石墨坩埚断裂的主要原因

2020-09-28 18:08:36

重庆石墨坩埚断裂的主要原因

1.使用不当。这主要是在冷却和拆炉期间。用户拉晶时会有缩短加热时间、冷却时间、拆炉时间的想法,提高生产效率是可以理解的。但是要考虑石墨能否承受这个冷却速率。当温度升高时,石墨材料的强度会增加,换句话说,当温度降低时,强度会降低。应考虑外壁和内壁温差引起的应力是否超过石墨坩埚所能承受的范围。

2.加工缺陷。由于这种原因导致石墨坩埚断裂后,通常会从接头处开裂,然后扩散。通常在垂直方向分裂。这种问题发生后更容易发现,因为太明显了。这类问题的主要原因是关节过渡的角度(一般为105或115)在交点处,没有使用圆角缓冲。此外,加工过程中坩埚本体上刀尖的微观撕裂和使用过程中坩埚本身的应力会导致开裂。

3.运输、装卸不当。运输装卸主要是在运输过程中,与各种热场厂家的包装有关,也与物流公司有关。但是现在大部分都选择自己发货,这些原因也在逐渐减少。装拆主要是拉晶过程,特别是新手辅助工偶尔拆炉的时候。

4.设计缺陷。为此,石墨坩埚的断口一般在R部与上坩埚的交界处,一般为横向断口,一般为两侧低断口,中间高断口;如果都是拆分再拼接在一起,很明显两端的拼接接口不能重叠。真正的原因是,使用后,壁厚均匀的坩埚上部和厚度逐渐变厚的坩埚下部的应力集中在这一部分,导致应力集中,z终导致石墨坩埚断裂。


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